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日本推出新款太阳能电池废气处理装置

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时间:1900/1/1 0:00:00

日本的Ebara Co.,Ltd.开始销售新的废气处理设备,以满足太阳能电池制造过程中对大流量气体的需求。该装置可以使薄膜太阳能电池和半导体制造过程中排放的有气体无害。该公司根据用途准备了G6、G6-PV和G6-E三种型号。这三种型号都是带燃烧装置和水洗除尘装置的复合处理装置。

G6是一种废气处理设备,支持大流量,针对薄膜太阳能电池、液晶面板单元和半导体制造工艺中各种设备使用的气体。每分钟允许的最大气体流入量为1200升,比以前产品的平均每分钟350升高出约3倍。因此,可以减少所需的废气处理装置的数量,从而降低设备成本。

用于处理薄膜太阳能电池制造过程的G6-PV装置中使用的大量清洁气体(NF3)平均每分钟可处理废气中所含的高达150升的三氟化氮。G6-E型适用于半导体制造过程中产生的含氢、含氯废气的处理。每分钟最多允许400升气体。

该公司扩大了产品阵容,在废气处理装置中增加了三种新型号,以满足更多客户的需求。由于可再生能源日益受到重视,太阳能电池市场的需求进一步扩大,制造过程中使用的废气处理装置预计将增加。埃巴拉有限公司(Ebara Co.,Ltd.)将通过推广其减少环境负荷和提高生产效率的特性来销售新的加工设备。

(编者/李燕郊)日本埃巴拉有限公司(Ebara Co.,Ltd.)开始销售新的废气处理设备,以满足太阳能电池制造过程中对大流量气体的需求。该装置可以使薄膜太阳能电池和半导体制造过程中排放的有气体无害。该公司根据用途准备了G6、G6-PV和G6-E三种型号。这三种型号都是带燃烧装置和水洗除尘装置的复合处理装置。

G6是一种废气处理设备,支持大流量,针对薄膜太阳能电池、液晶面板单元和半导体制造工艺中各种设备使用的气体。每分钟允许的最大气体流入量为1200升,比以前产品的平均每分钟350升高出约3倍。因此,可以减少所需的废气处理装置的数量,从而降低设备成本。

用于处理薄膜太阳能电池制造过程的G6-PV装置中使用的大量清洁气体(NF3)平均每分钟可处理废气中所含的高达150升的三氟化氮。G6-E型适用于半导体制造过程中产生的含氢、含氯废气的处理。每分钟最多允许400升气体。

该公司扩大了产品阵容,在废气处理装置中增加了三种新型号,以满足更多客户的需求。由于可再生能源日益受到重视,太阳能电池市场的需求进一步扩大,制造过程中使用的废气处理装置预计将增加。埃巴拉有限公司(Ebara Co.,Ltd.)将通过推广其减少环境负荷和提高生产效率的特性来销售新的加工设备。

(编辑/李燕郊)

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